百級潔淨氮氣櫃

百級潔淨氮氣櫃產品應用：

適合半導體前端單晶矽製程中矽片及晶圓盒的存放,防止矽片的返顆粒，返霧現象；由於大部分的存儲櫃或者是氮氣櫃設計都為全封閉環境，隻控製濕度及氧含量濃度這塊，並無自淨功能,故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。鬆鑫潔淨櫃則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵汙染的物品.

相關技術指標：

1）潔淨等級

專業高效潔淨過濾裝置，材質采用進口PTFE,確保潔淨櫃內CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空櫃或每層放置固定數量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。

2）TDH實驗

即存放在潔淨櫃內經過乾燥2小時的矽片不能有不正常或超標返顆粒的現象產生(返顆粒取樣測試後總數平均數與原有矽片顆粒數對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空櫃或每層放置固定數量晶圓盒，在氮氣流量不大於70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大於30min；

4) 進口無塵風機：采用進口無塵室專用FFU風機，麵風速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘餘值測定鬆鑫全功能潔淨氮氣櫃（選配）

潔淨氮氣櫃內放置的矽片盒，經過乾燥2小時後，矽片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）櫃內風速均勻性

潔淨櫃內有氮氣的無死角，可使用風速測定儀來檢測內部矽片放置各點的風速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監控，在潔淨櫃在完全關閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

百級潔淨氮氣櫃主要特點：

一、規格尺寸:W1300*D800*H1985mm(也可提供訂製)

1、材質：SUS304雙鏡麵

2、工作電壓：220V

3、溫濕度顯示器精度：相對濕度±3%Rh，溫度±1℃

二、主要特色

RSD-COL-4M係列是集快速降濕、除塵、氮氣節約功能於一體的無塵室儲存設備。

潔淨氮氣櫃產品說明：

*控製方式：采用濕度/氧含量控製的方法。

*高潔淨過濾器FFU采用美國等進口知名品牌。

*靜音離心風機采用德國等進口知名品牌。

*采用高品質靜電消除裝置。

*對氮氣進行前期潔淨預處理。

*采用雙數顯式控製器，對箱內濕度或含氧量進行顯示和控製（二選一）。設備具有很好的密封性能，塵埃過濾，水平或垂直送風。

*設備可由濕度和氮濃度檢測顯示,氮氣流量控製,高潔淨過濾器受阻等多個係統.

*控製儀可選配置進行溫濕度含氮量數據的實時顯示,存儲和輸出和報警功能。

不鏽鋼潔淨型有四項主要特色：

1、模組化設計：本機器采用獨特的模組化設計，溫濕度顯示器、控製係統、除塵係統及除靜電係統均能快速更換，保養及維修簡便，大大提升維護效率。

2、彈性設計：整台設備現有除濕、除塵、防靜電、氮氣節約、數據收集和聲光警報功能均可依據客戶需求配置。

3、簡易的操作：在完成濕度目標值設定後，RSD-COL係列各功能獨立性強，開關按鍵設置簡潔明了，操作人員可快速掌握其操作方法。

4、**性設計：內置雙重抗乾擾設計，可有效解決相鄰高壓設備帶來的乾擾和因操作不當導致的電器部件損毀問題。

*型號RSD-COL-4M潔淨氮氣櫃/不鏽鋼潔淨氮氣櫃/十級潔淨氮氣櫃/100級潔淨氮氣櫃標準。

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